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資訊
潔凈室檢測項(xiàng)目和標(biāo)準(zhǔn)
2024-07-18

      凈室的定義為:將空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個(gè)相當(dāng)潔凈的環(huán)境。亦即:這個(gè)環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少,稱之為凈室。凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。


潔凈室檢測范圍




潔凈室環(huán)境等級(jí)評(píng)定、工程驗(yàn)收檢測,包括食品、保健品、化妝品、桶裝水、牛奶生產(chǎn)車間、電子產(chǎn)品產(chǎn)車間、GMP車間、醫(yī)院手術(shù)室、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)



潔凈室檢測項(xiàng)目




風(fēng)速風(fēng)量、換氣次數(shù)、溫濕度、壓差、懸浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪聲、照度等。具體可以參考潔凈室檢測相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。



風(fēng)速風(fēng)量換氣次數(shù)

潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。

單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測項(xiàng)目。

非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越顯著,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單向流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測試項(xiàng)目。

為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。
換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以潔凈室的容積求得。

潔凈室溫濕度檢測

潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測試綜合測試。

第一個(gè)檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測試

第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合。

本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時(shí)間不少于5分鐘。

這項(xiàng)檢測的目的是驗(yàn)證完工設(shè)施與周圍環(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間保持規(guī)定壓差的能力。這項(xiàng)檢測適用于所有3種占用狀態(tài)。需要定期進(jìn)行這項(xiàng)檢測。

壓差的測試應(yīng)在所有的門都關(guān)閉的條件下,由高壓向低壓、由平面布置上與外界最遠(yuǎn)的里間房間開始,依次向外測試;有孔洞相通的不同等級(jí)相鄰的潔凈室(區(qū)),其洞口處宜有合理的氣流流向等等。

潔凈室壓差檢測要求

這種檢測是為了驗(yàn)證完工設(shè)施和四周環(huán)境之間、設(shè)施內(nèi)各空間之間維持一定壓差的能力。這種檢測適用于全部3個(gè)占用狀態(tài)。這種檢測是必須的。對(duì)壓差的檢測應(yīng)該在全部門都關(guān)閉的條件下進(jìn)行的,從高壓到低壓、從平面布置上和外界最遠(yuǎn)的里間房間開始,然后依次向外檢測。不同等級(jí)的、有孔洞相通的潔凈室,在洞口處只有合理的氣流流向等。

壓差檢測要求

(1)要求清潔區(qū)內(nèi)所有門全部關(guān)閉時(shí),進(jìn)行靜壓差的測定。

(2)在潔凈平面上,應(yīng)從潔凈度從高到低的順序依次進(jìn)行,直到檢測到直通室外的房間。

(3)室內(nèi)沒有氣流影響時(shí)測管口應(yīng)設(shè)置在任何位置,測管口面和氣流流線平行。

(4)測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)該精確到1.0Pa。

壓差檢測步驟:

(1)首先關(guān)上所有門。

(2)用微差壓計(jì)測量每個(gè)潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。

(3)所有數(shù)據(jù)記錄好。

壓差標(biāo)準(zhǔn)要求:

(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)和非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差要求大于5Pa。

(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差要求大于10Pa。

(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于 5 級(jí)(100 級(jí))的單向流潔凈室在開門時(shí),門內(nèi) 0.6m 處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)小于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。

(4)如果未能達(dá)到上述標(biāo)準(zhǔn)要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量,直到合格。

潔凈室懸浮粒子測試

(1)室內(nèi)測試人員一定要穿潔凈服,要小于兩個(gè)人,應(yīng)位于測試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)且遠(yuǎn)離測試點(diǎn),做換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,不要增加人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。

(2)設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。

(3)檢測前后設(shè)備要清零。

(4)在單向流區(qū)域,選定的采樣探頭要接近等動(dòng)力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速和被采空氣的風(fēng)速偏差應(yīng)該小于20%。如果沒有做到這一點(diǎn),就要將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。

(5)采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。

潔凈室沉降菌檢測

工作區(qū)測點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右,將已制備好的培養(yǎng)皿置于采樣點(diǎn),打開培養(yǎng)皿蓋,使其暴露規(guī)定的時(shí)間,再將培養(yǎng)皿蓋上,將培養(yǎng)皿放于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng),時(shí)間不少于48小時(shí),每批培養(yǎng)基應(yīng)該有對(duì)照實(shí)驗(yàn),檢驗(yàn)培養(yǎng)基是否污染。

潔凈室噪聲及照度

噪聲:測量高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測室中心1點(diǎn);面積在15平方米以上,還應(yīng)再測對(duì)角4點(diǎn),距側(cè)墻各1米,測點(diǎn)朝向各角。

照度:測點(diǎn)平面離地面0.8米左右,按2米間距布點(diǎn),30平方米以內(nèi)的房間測點(diǎn)距邊墻0.5米,超過30平方米的房間測點(diǎn)距離墻面1米。


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